隨著晶圓技術(shù)發(fā)展到更小的線寬，準(zhǔn)確控制液體流量對(duì)于獲得高產(chǎn)量變得越來(lái)越重要；在這些關(guān)鍵過(guò)程中，流量的控制和管理必須依賴(lài)于流體輸送和分配系統(tǒng)，這些系統(tǒng)始終提供準(zhǔn)確性 - 以保持過(guò)程完整性并更大限度地減少?gòu)U料。
  
  蠕動(dòng)泵在完全封閉的系統(tǒng)中提供卓越的流速穩(wěn)定性和計(jì)量精度，實(shí)現(xiàn)沒(méi)有污染的流量控制。流動(dòng)僅與一個(gè)不間斷長(zhǎng)度的Style 100 SC高彈性硅復(fù)合泵管元件內(nèi)部接觸，提供平滑，無(wú)縫的流動(dòng)，以防止?jié){料顆粒聚集，從而導(dǎo)致劃痕缺陷和降低產(chǎn)量。
  
  泵提供非常低的剪切力，避免損壞漿料聚合物鏈，這會(huì)對(duì)去除率，拋光均勻性，劃痕密度或深度產(chǎn)生負(fù)面影響。在CMP和其他關(guān)鍵應(yīng)用中，泵故障是不可接受的，因?yàn)樗鼤?huì)導(dǎo)致晶片損壞和高廢品率。
  
  免維護(hù)無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，適用于連續(xù)工作和滾子和滾珠軸承泵頭結(jié)構(gòu)，可生產(chǎn)高度可靠和強(qiáng)大的泵。該泵尺寸小，適用于有限空間的晶圓廠安裝，許多型號(hào)包括帶微處理器控制校準(zhǔn)的數(shù)字驅(qū)動(dòng)器，以及密封沖洗外殼中的LCD顯示器。